**净室各项功能的配备均以满足各项工艺要求为前提,十级**净工作台,它具备以下特点:
(1) 在洁净区与非洁净区隔离口设有“TJ —1”型单人定时冷热风淋室,它是工作人员进入**净室的净化关口。
(2) 在非洁净区设有更衣室,操作人员更换防静电洁净服后才可进入**净室。
(3) 设有室内对外器件、物品传递窗。
(4) 室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,大型**净工作台,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。(5) 室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,较大提高了水质纯度,**净工作台,其输出水质电阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人员健康**方面,**净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了独立的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统**了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了**。
净化工作台的维护
1、根据实际使用情况,定期将初效过滤器拆下清洗,清洗周期一般为3~6个月。(若长期不洗,**净工作台,积尘将影响进风量不足而降低洁净效果)。
2、当正常调换或清洗初效空气过滤器后,仍不能达到理想的截面风速时,则应调节风机的工作电压(旋动旋钮),从而达到理想的均匀风速(新工作台始用时把风机的工作电压调整到80V~90V即可)。
洁净工作台的基本安全事项
● 本产品属室内适用型,请不要在室外使用。勿置于高速尘源和震源处。
● 本产品不具有防爆能力,严禁在易燃易爆的环境中使用。并禁止在多时多湿、结露、多尘以及有油烟、雾气的场所使用。
● 请不要用挥发油、稀释剂等擦拭本体,以免伤及漆尘或引起漆尘变色。
● 禁止冲击玻璃,以免造成人体伤害。
● 确保维修空间及便于风机、过滤器的更换及电器元器件、线路的检修。